Có rất nhiều loại bơm chân không như ở hình trên nhưng thông dụng thì có một số loại như bên dưới. hãy cùng tìm hiểu nhé.
Đang xem: Nguyên lý hoạt Động bơm hút chân không vòng dầu (oil ring vacuum pump là gì
Một trong những loại bơm áp suất cao (low vacuum) là rotary vane pump. Nó bơm từ 760 Torr xuống tới khoảng chừng 10 Torr cho tới10-3Torr. Vì miếng vane của nó dài ngắn tùy theo góc quay cho nên trọng tâm của trục quay không nằm tại tâm của trục. Vì vậy nên loại bơm này bị rung rất mạnh và thường được gắn trên các chân cao su để chống rung. Và họ dùng các ống dẫn hơi “mềm” để sự rung động không chuyền qua các máy bơm khác. Các loại dùng trong fab thường dùng bơm loại này như có thêm dầu để giải nhiệt và làm kín mặt vane/piston và xy lanh (giống như nhiệm vụ của nhớt xe). Cái loại này rất nhỏ chừng 15kg-30 Kg.
– Compression by a mechanical motion– P >10-3mbar- “Roughing” to pump air out of chamber- “Backing” to maintain foreline pressure for high vacuum pump
Bơm chân không ở high vacuum, sử dụng các khí hóa lỏng ở nhiệt độ thấp, ví dụ như nitơ lỏng ở 77K…, để bẫy khí nhằm tạo ra chân không siêu cao.
Loại bơm này dùng hơi lạnh làm cho các nguyên tử mất gần hết năng lượng (kinetic energy) sẽ chạy chậm hơn và bị giữ lạitrong một lớp than (giống như lớp than trong mặt nạ chống hơi độc) vì thế áp suất sẽ được giảm xuống theo công thức của động nhiệt học PV=nRT với T= nhiệt và P là áp suất.
Xem thêm: Hướng Dẫn Cài Đặt Vmware Workstation Là Gì ? Vmware Cách Hoạt Động Như Thế Nào?
– “Freezes” residual gas to internal surface – basically a very big fridge inside the vacuum chamber- Operates at ~10-20 K- Need regenerating every so often and routine maintenance in filters- Very effective for pumping water, N2 and O2
– Gas molecules diffuse into pump and are “hit” by rotor blades, changing the molecules direction into the body of the pump.
Giống như turbo pump hoạt động bằng cách chuyển moomen động lượng.Nguyên tắc nó giống như dùng vòi nước xịt trên nền nhà để rửa sạch đất cát. Nhưng thay vì dùng nước để phun thì nó dùng một loại dầu tạo ra mômen ròng (net momentum) để nén và phun khí ra một chỗ khác.Sự ô nhiễm dầu khiến nó không phù hợp với hầu hết các quy trình trong công nghệ bán dẫn.Sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp ống chân không TV cũ do chi phí thấp.
Một loại bơm lạ nhất là Sublimation Pump hoặc getter pump. Cái này không động cơ mà dùng phản ứng hóa học để bơm. Các chất hơi phản ứng với kim loại như titanium và crom trong bơm và bị “giữ” lại làm cho áp suất giảm xuống. Dĩ nhiên là loại bơm này rất chậm.
Xem thêm: Giày Đá Bóng Top End Là Gì, Nhờ Các Anh Chị Xem Giúp Em Câu Này Với Ạ
Metals like chromium and titanium sublime and as they do so they condense on the chamber wall trapping residual gas with them.
